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1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長設(shè)備停機(jī)時間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗時間控制清潔終點(diǎn),但最佳清潔時間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...
8-5
導(dǎo)語:鋼鐵冶煉是高耗能重污染行業(yè),而燒結(jié)煙氣又是鋼鐵企業(yè)主要排放的大氣污染物,它約占整個鋼鐵企業(yè)排放總量的50%以上。隨著國家環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)的不斷收緊和“十三五”期間實行污染物總量控制政策的影響,對燒結(jié)煙氣的治理將成為鋼鐵企業(yè)的重點(diǎn)工作。一、燒結(jié)煙氣治理的行業(yè)背景2018年5月,生態(tài)環(huán)境部發(fā)布了《鋼鐵企業(yè)超低排放改造工作方案》(征求意見稿),對國內(nèi)鋼鐵企業(yè)的大氣污染治理提出更為嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)。其中重新規(guī)劃了對燒結(jié)煙氣污染物的排放限制規(guī)定,將燒結(jié)機(jī)頭煙氣、球團(tuán)焙燒煙氣顆粒物、二氧化硫...
5-16
隨著鋼鐵產(chǎn)量的增長,鋼鐵工業(yè)能耗占全國總能耗的比重越來越高。加熱爐是軋鋼廠的主要耗能設(shè)備之一,其能耗占軋鋼工序能耗的60~70%,能耗水平直接影響軋鋼生產(chǎn)成本,因此降低加熱爐能耗是軋鋼節(jié)能的主要方向和目標(biāo)。我國冶金行業(yè)軋鋼加熱爐幾千余座,包括今年新建或改造的蓄熱式加熱爐,在運(yùn)行、使用過程或多或少地存在問題,其能耗水平相差很大,有的加熱爐單耗高達(dá)70~80kg/t,節(jié)能潛力十分巨大。因此,提高軋鋼加熱爐的能耗水平對鋼鐵企業(yè)的節(jié)能有著重要意義。一、軋鋼加熱爐的熱平衡分析燃料在鍋爐...
4-26
隨著焦化行業(yè)的發(fā)展,焦?fàn)t煤氣除部分返回焦?fàn)t加熱外,剩余主要作為城市煤氣,還有相當(dāng)數(shù)量的焦?fàn)t煤氣會通過火炬燃燒放空。據(jù)估計每年約有350×108m3以上的焦?fàn)t煤氣未被有效利用而付之一炬,這不僅造成環(huán)境污染,還浪費(fèi)了大量能源。根據(jù)焦?fàn)t煤氣的特點(diǎn)(含氫量高),我國焦化行業(yè)應(yīng)進(jìn)一步開發(fā)出符合企業(yè)特點(diǎn)的應(yīng)用技術(shù),進(jìn)而實現(xiàn)煤氣資源的優(yōu)化開發(fā)利用,增加焦?fàn)t煤氣的利用價值,增強(qiáng)煉焦行業(yè)的整體競爭力。近年來,我國焦?fàn)t煤氣利用程度不斷提高,在開發(fā)利用技術(shù)方面進(jìn)行了一系列探索,本文總結(jié)出七種常用的...
2-19
加熱爐的是冶金行業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備之一,加熱爐性能的好壞直接影響到產(chǎn)品質(zhì)量的好壞,而加熱爐燃料是影響加熱爐性能的重要因素,因此根據(jù)生產(chǎn)需求合理控制、及時調(diào)整加熱爐燃料熱值、壓力、成份、流量等參數(shù)是提高加熱爐效率的有效措施。隨著河北省實施《煉焦化學(xué)工業(yè)大氣污染物超低排放標(biāo)準(zhǔn)》和《鋼鐵工業(yè)大氣污染物超低排放標(biāo)準(zhǔn)》,國家環(huán)保進(jìn)入了嚴(yán)階段,鋼鐵熱處理領(lǐng)域也面臨了嚴(yán)厲挑戰(zhàn)。越來越多的焦?fàn)t被關(guān)停,焦?fàn)t煤氣正成為稀缺資源,沒有焦?fàn)t煤氣混合的高爐或轉(zhuǎn)爐煤氣熱值較低,很難安全燃燒,一直未能在高品質(zhì)熱...
1-31
一、什么是“國六”汽車排放標(biāo)準(zhǔn)?“國家第六階段機(jī)動車污染物排放標(biāo)準(zhǔn)”包括《輕型汽車污染物排放限值及測量方法(*六階段)》(GB18352.6-2016)和《重型柴油車污染物排放限值及測量方法(*六階段)》(GB17691-2018)兩部分,是為貫徹《中華人民共和國環(huán)境保護(hù)法》《中華人民共和國大氣污染防治法》,防治壓燃式及氣體燃料點(diǎn)燃式發(fā)動機(jī)汽車排氣對環(huán)境的污染,保護(hù)生態(tài)環(huán)境,保障人體健康制定。二、新標(biāo)何時在全國范圍內(nèi)實施?輕型車“國六”汽車排放標(biāo)準(zhǔn)與重型柴油車“國六”汽車排放...
1-31
目前,我國畜禽養(yǎng)殖規(guī)?;蔬_(dá)到54%,畜禽糞污年產(chǎn)生量約38億噸,已經(jīng)成為農(nóng)業(yè)面源污染的主要來源。推進(jìn)畜禽養(yǎng)殖廢棄物處理和資源化利用已成為國家重點(diǎn)關(guān)注的環(huán)保與民生問題。2017年,國家發(fā)展改革委會、農(nóng)業(yè)農(nóng)村部聯(lián)合發(fā)布《全國畜禽糞污資源化利用整縣推進(jìn)項目工作方案(2018-2020年)》(下稱《方案》),2018年,農(nóng)業(yè)農(nóng)村部、財政部聯(lián)合發(fā)布《關(guān)于做好2018年畜禽糞污資源化利用項目實施工作的通知》(下稱《通知》),分別明確了政策實施要求、項目實施方案及相關(guān)補(bǔ)貼標(biāo)準(zhǔn),隨著推進(jìn)政...
1-31
一、低氮燃燒的必要性減少NOx排放是改善環(huán)境空氣質(zhì)量的需要近年來的監(jiān)測數(shù)據(jù)表明,典型特征污染物PM2.5出現(xiàn)較大超標(biāo)比例和區(qū)域性長時間嚴(yán)重超標(biāo)情況,改善環(huán)境空氣質(zhì)量面臨巨大挑戰(zhàn)。國內(nèi)外研究和治理經(jīng)驗表明,控制區(qū)域性PM2.5污染是一項難度非常大的系統(tǒng)工程,必須在綜合分析基礎(chǔ)上,提出有針對性的控制對策,才能有效緩解區(qū)域PM2.5污染。PM2.5包括一次排放和二次生成粒子兩部分,以北京為例,二次粒子比例較高,特別是重污染時段PM2.5中二次粒子比例較常規(guī)時段明顯增加。有觀測數(shù)據(jù)表...
1-26
近年來,隨著我國天然氣資源利用技術(shù)的不斷發(fā)展,“煤改氣”工程建設(shè)的加快推進(jìn),為天然氣鍋爐的推廣提供了能源支持,小型鍋爐作為我國燃?xì)忮仩t使用的主要方向,已廣泛應(yīng)用于城市洗浴、酒店、中小型企業(yè)及事業(yè)單位內(nèi)部。但目前我國小型天然氣鍋爐的設(shè)計尚存在一定問題,如一些部門存在著對鍋爐結(jié)構(gòu)、熱力參數(shù)選取以及計算過程的不規(guī)范性,使天然氣鍋爐在設(shè)計或改造上沒有做到良好的優(yōu)化,運(yùn)行上無法保證鍋爐處于大效率,造成了原材料及天然氣能源的浪費(fèi)。此外,為加快推進(jìn)集中供熱、“煤改氣”、“煤改電”工程建設(shè),...
1-26
要解決沼氣發(fā)電機(jī)組尾氣排放執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的爭議性問題,首先我們要明確沼氣發(fā)電機(jī)組的工作原理?由于沼氣發(fā)電項目兼具社會效益與經(jīng)濟(jì)效益,利用沼氣發(fā)電機(jī)組發(fā)電并網(wǎng),一般采用單機(jī)功率較小的往復(fù)式燃?xì)鈨?nèi)燃機(jī)組發(fā)電技術(shù),通過沼氣在氣缸內(nèi)燃燒,帶動活塞運(yùn)動,產(chǎn)生動力,再帶動發(fā)電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)發(fā)電。該技術(shù)具有如下特點(diǎn):①單位千瓦建站投資少,2500~3500元/kW;率高:45%~80%;運(yùn)行成本低:0.1~0.12元/kWh。②燃?xì)鈨?nèi)燃機(jī)機(jī)組配套設(shè)備簡單,電站可移動性強(qiáng)。③機(jī)組單機(jī)功率范圍:4kW~20...
1-26
所謂提高燃燒效率,就是要適量的天然氣與適量的空氣組成合適比例進(jìn)行燃燒。因為空氣中有79%的N2,這些N2不參加燃燒,但在燃燒過程中被加熱,吸取能量后從煙道中被排到大氣中去。即為了使空氣中20.9%的O2參與燃燒,必須要加熱比O2多將近4倍的N2,然后將其放掉。這些能量的損耗是不可避免的,但卻可以減到低的程度。如果能在保證天然氣充分燃耗的前提下盡可能的減少空氣的輸入量,則這種形式的損耗將減至低。但空氣量的減少必須保證天然氣充分燃燒的前提下,否則由于天然氣未充分燃燒的能量損失也是...
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