av无码久久久久久不卡网站,免费无码毛片一区二区app,在线观看视频你懂的网址,一区二区三区久久久人妻

全國服務(wù)咨詢熱線:

18627990650

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測解決方案

1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對(duì)腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會(huì)形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長設(shè)備停機(jī)時(shí)間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗(yàn)時(shí)間控制清潔終點(diǎn),但最佳清潔時(shí)間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2017

    6-2

    干式發(fā)酵是指以有機(jī)廢棄物為原料(干物質(zhì)濃度在25%以上),利用水解產(chǎn)酸菌、產(chǎn)氫產(chǎn)乙酸菌和產(chǎn)甲烷菌將其分解為CH4、CO2、H2S等氣體的發(fā)酵工藝。由于固體濃度太高難以采用連續(xù)投料或半投料的投料方式,絕大數(shù)均采用批量投料。紅外沼氣分析儀Gasboard-3200系列。一、干式厭氧發(fā)酵技術(shù)的應(yīng)用范圍1.城市生活垃圾組成:食物殘?jiān)?,廢紙,玻璃、陶瓷、塑料、金屬制品等廢物,煤灰渣及糞便等。特性:組分復(fù)雜且隨季節(jié)、場合而異;食品殘?jiān)谋壤柽_(dá)到60%以上,尚未實(shí)現(xiàn)分類收集,用于堆肥時(shí)需...

  • 2017

    6-2

    國內(nèi)外對(duì)焦?fàn)t煤氣的脫硫工藝分為正壓脫硫和負(fù)壓脫硫二種。某公司焦?fàn)t煤氣凈化一開始采用HPF正壓脫硫工藝,但脫硫效率低,且正壓脫硫需將煤氣冷卻,送入脫硫塔進(jìn)行脫硫、脫氰,經(jīng)過脫硫后,煤氣進(jìn)入硫銨單元,又需對(duì)煤氣進(jìn)行預(yù)熱,煤氣經(jīng)過冷卻、預(yù)熱存在較大的能源浪費(fèi),不利于節(jié)能降耗生產(chǎn),對(duì)此該公司將正壓脫硫工藝改為負(fù)壓脫硫工藝,采用紅外氣體分析儀(防爆型)Gasboard-3500對(duì)脫硫效果進(jìn)行監(jiān)測,項(xiàng)目運(yùn)行3年來,脫硫效率提高,節(jié)能*,具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)保效益。一、正、負(fù)壓脫硫工藝對(duì)...

  • 2017

    5-10

    VOCs(volatileorganiccompounds)即揮發(fā)性有機(jī)物,是一類化學(xué)質(zhì)的統(tǒng)稱,在常溫壓下通具有高蒸汽。我國現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)中VOCs是指20℃條件下蒸汽壓大于等于0.01kPa,或在特定適用條件下具有揮發(fā)性的全部機(jī)化,或在特定適用條件下具有揮發(fā)性的全部機(jī)化合物的統(tǒng)稱。VOCs組成復(fù)雜,主要包括烷烴、烯烴、芳香烴、鹵代烴、含氧烴、氮烴、硫烴、低沸點(diǎn)多環(huán)芳烴等。其中常見的VOCs種類有甲苯(TolueneToluene)、二甲苯(Xylene)、對(duì)-二氯苯(Para-di...

  • 2017

    5-9

    項(xiàng)目概述針對(duì)焦化生產(chǎn)流程污染嚴(yán)重、影響環(huán)境保護(hù)問題,某鋼鐵公司焦化生產(chǎn)線采用目前焦化產(chǎn)業(yè)先進(jìn)的干熄焦技術(shù)裝備工藝流程,以達(dá)到、節(jié)能、低耗、環(huán)保的目的。該鋼鐵干熄焦項(xiàng)目采用干熄焦氣體循環(huán)分析系統(tǒng)對(duì)用戶現(xiàn)場干熄爐及循環(huán)氣體系統(tǒng)中產(chǎn)生的氣體組分進(jìn)行分析。系統(tǒng)由預(yù)處理單元、控制單元、分析單元三個(gè)部分構(gòu)成,采用PLC程序控制,自動(dòng)完成采樣、反吹、排冷凝水等操作,實(shí)現(xiàn)24小時(shí)無人值守的情況下實(shí)時(shí)在線監(jiān)測工業(yè)過程氣體,大大減少了人工負(fù)荷,保證系統(tǒng)長期穩(wěn)定、準(zhǔn)確、連續(xù)自動(dòng)在線運(yùn)行。一級(jí)除塵二...

  • 2017

    5-8

    本文簡述了天然氣能量計(jì)量的基本原理,同時(shí)介紹了兩種不同原理的天然氣熱值測定方法,并對(duì)其進(jìn)行了分析比較。GB12206-90給出了我國城市燃?xì)鉄嶂档亩x:每標(biāo)準(zhǔn)立方米(0℃,101.3KPa)干燃?xì)?燃燒時(shí)產(chǎn)生的熱量。當(dāng)此熱量包括煙氣中水蒸氣凝結(jié)而散發(fā)的熱量時(shí),稱為高位熱值,反之稱為低位熱值。縱觀近年來的發(fā)展情況,我國天然氣能量計(jì)量工業(yè)歷經(jīng)多年積累,不斷取得進(jìn)步,并逐漸與接軌,對(duì)整個(gè)天然氣產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出了不小的貢獻(xiàn)。筆者將介紹兩種天然氣熱值的測定方法:一種為使用熱量計(jì)直接燃燒測...

  • 2017

    5-4

    一、沼氣產(chǎn)量計(jì)算理論計(jì)算公式:沼氣產(chǎn)量=廢水濃度(kgCOD/m3)×設(shè)備去除率(%)×廢水日排放量(m3/d)×產(chǎn)沼氣率其中,產(chǎn)沼氣率為0.7m3/kgCOD(理論值)沼氣產(chǎn)量計(jì)算還有如下方式:1、按養(yǎng)殖規(guī)模計(jì)算,一般估算為:5頭豬、1頭牛、150只雞的糞便可產(chǎn)1m3沼氣。2、按照池容計(jì)算。如6m3、8m3、10m3沼氣池容積可分別產(chǎn)沼氣1.2m3、1.6m3、2m33、按照池中的干物質(zhì)計(jì)算,如每公斤豬糞(干物質(zhì))產(chǎn)氣量為0.43m3/kg。4、按照去除的污染物計(jì)算,如每去...

  • 2017

    5-3

    焦?fàn)t煤氣在進(jìn)入靜電除塵設(shè)備之前,需要分析焦?fàn)t煤氣含氧量,因?yàn)殪o電除塵設(shè)備中的焦?fàn)t煤氣含氧量達(dá)到一定程度時(shí)會(huì)引發(fā)爆炸事故,從而損壞設(shè)備和造成人身傷害,所以對(duì)焦?fàn)t煤氣中的含氧量分析及監(jiān)控極為重要。筆者將就在線煤氣分析系統(tǒng)在靜電除塵工藝中的應(yīng)用進(jìn)行探討。1.煤氣靜電除塵技術(shù)煤氣除塵技術(shù)在我國已經(jīng)較為成熟,其方法也多樣,本文主要探討的是煤氣靜電除塵。其工藝原理為:含有粉塵顆粒的氣體,在接有高壓直流電源的陰極線(又稱電暈極)和接地的陽極板之間所形成的高壓電場通過時(shí),由于陰極發(fā)生電暈放電...

  • 2017

    4-12

    紅外煤氣成分分析儀主要應(yīng)用于工業(yè)上對(duì)煤氣成分進(jìn)行分析,通過對(duì)測量的氣體參數(shù)變化情況的分析,掌握這些成分的變化規(guī)律,從而對(duì)于實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)全程動(dòng)態(tài)控制,無論是理論計(jì)算還是現(xiàn)場操作,都具有十分重要的指導(dǎo)意義。該儀器適合氮肥廠、鋼鐵公司、煤氣廠等行業(yè)的分析煤氣、半水煤氣、變換氣、原料氣中CO2,CnHm,O2,CO,CH4,H2及NOx等成分的分析。目前市場上主要有實(shí)驗(yàn)室分析儀和過程分析儀兩大類分析儀器,現(xiàn)就適合于煤氣成分分析的儀器簡單介紹一下。一、常用實(shí)驗(yàn)室分析儀器1.奧氏氣體分析儀作...

  • 2017

    4-11

    作為一種能源和化工原料,天然氣計(jì)量的重要性不言而喻。本文探討了超聲氣體流量計(jì)Gasboard-7200在貿(mào)易計(jì)量中的應(yīng)用。??超聲波流量計(jì)的工作原理Gasboard-7200系列超聲氣體流量計(jì)采用行業(yè)先進(jìn)的超聲波氣體傳感技術(shù),其工作原理是通過測量超聲波脈沖順流和逆流傳播時(shí)傳播速度不同引起的時(shí)差來計(jì)算被測流體速度,該原理又稱為“時(shí)差法”。超聲波頻率高,波長短,衍射不嚴(yán)重,具有良好的定向性且穿透能力強(qiáng)。探頭1發(fā)射信號(hào),信號(hào)穿過管壁1、流體、管壁2后被另一側(cè)的探頭2接收到;在探頭1...

  • 2017

    4-10

    因入爐煤氣資源豐富,且屬于可被循環(huán)利用的廢氣,故煤氣是氣燒石灰窯的燃料,如高爐煤氣、轉(zhuǎn)爐煤氣、焦?fàn)t煤氣、電石尾氣(煤氣)、發(fā)生爐煤氣等。由于氣燒石灰窯的煅燒溫度,關(guān)系到石灰質(zhì)量,煅燒溫度又與入爐煤氣的熱值直接相關(guān),同時(shí)入爐煤氣熱值高、火焰短等因素易造成石灰窯的過燒或生燒現(xiàn)象,所以必須對(duì)入爐煤氣的熱值進(jìn)行分析,以便現(xiàn)場工作人員根據(jù)實(shí)際工況調(diào)節(jié)窯內(nèi)煅燒溫度,提高氣燒石灰窯的生產(chǎn)效率與企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。煤氣分析儀(在線型)Gasboard-3100煤氣中貢獻(xiàn)熱值的氣體有CO、CH4、C...

共 140 條記錄,當(dāng)前 13 / 14 頁  首頁  上一頁  下一頁  末頁  跳轉(zhuǎn)到第頁 

全國統(tǒng)一服務(wù)電話

027-81628829

電子郵箱:cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn

公司地址:武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰產(chǎn)業(yè)園鳳凰園中路6號(hào)

業(yè)務(wù)咨詢微信

寿宁县| 乐昌市| 双辽市| 岚皋县| 通道| 大埔区| 贵阳市| 思南县| 阳西县| 余江县| 曲阳县| 彝良县| 莲花县| 全州县| 广昌县| 马尔康县| 岳西县| 太湖县| 和政县| 天津市| 富顺县| 宕昌县| 永和县| 古田县| 汕尾市| 田林县| 西和县| 积石山| 前郭尔| 日喀则市| 兴安盟| 伽师县| 高尔夫| 巴南区| 和政县| 黎川县| 晋城| 雅安市| 静安区| 镇巴县| 遂昌县|