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半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點檢測解決方案

1.腔室清潔終點精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長設(shè)備停機時間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗時間控制清潔終點,但最佳清潔時間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2022

    11-14

    內(nèi)燃機工業(yè)是我國重要基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè),也是節(jié)能減排的重點領(lǐng)域。近年來,我國已經(jīng)頒布和實施了GB18352.6-2016(輕型車國六)、GB17691-2018(重型車國六)和GB20891-2014的2020年修改單(非道路移動機械國四)等移動源新生產(chǎn)車排放法規(guī)以及GB18285-2018(汽油車)、GB3847-2018(柴油車)和GB36886-2018(非道路移動機械)等在用車排放法規(guī)。其中帶領(lǐng)內(nèi)燃機行業(yè)技術(shù)發(fā)展的是新生產(chǎn)車排放法規(guī),該法規(guī)體系中要求的高精度發(fā)動機排放檢測設(shè)備,...

  • 2022

    11-14

    實現(xiàn)碳達(dá)峰碳中和是國家做出的重大戰(zhàn)略決策。通過監(jiān)測數(shù)據(jù)可以預(yù)測未來的氣候變化趨勢和評價生態(tài)系統(tǒng)碳循環(huán)對全球變化的響應(yīng)與適應(yīng)特征,為“雙碳”目標(biāo)的達(dá)成提供參考數(shù)據(jù),為現(xiàn)代地球系統(tǒng)科學(xué)、生態(tài)與環(huán)境科學(xué)關(guān)注的重大科學(xué)問題提供研究依據(jù)。碳通量在線監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)主要包含土壤溫室氣體通量測量和大氣環(huán)境渦度協(xié)方差測量系統(tǒng)兩種方法。中國人民銀行于9月設(shè)立2000億元以上設(shè)備更新改造專項再貸款,旨在貫徹落實國務(wù)院常務(wù)會議關(guān)于支持經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展薄弱領(lǐng)域設(shè)備更新改造的決策部署。四方光電股份有限公司(688...

  • 2022

    7-19

    2022年3月5日,第十三屆全國人民代表大會第五次會議的政府工作報告中提到:“圍繞國家重大戰(zhàn)略部署和“十四五”規(guī)劃,適度超前開展基礎(chǔ)設(shè)施投資。建設(shè)重點水利工程、綜合立體交通網(wǎng)、重要能源基地和設(shè)施,加快城市燃?xì)夤艿赖裙芫W(wǎng)更新改造,完善防洪排澇設(shè)施,繼續(xù)推進(jìn)地下綜合管廊建設(shè),中央預(yù)算內(nèi)投資安排6400億元?!比?xì)獍踩c人們生產(chǎn)生活息息相關(guān),已成為城市應(yīng)急管理工作的頭等大事。四方光電掌握非分光紅外(NDIR)、可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜(TDLAS)、電化學(xué)等多種核心技術(shù)平臺及應(yīng)用,...

  • 2022

    7-19

    近日,由于上海某隔離酒店使用了回風(fēng)+新風(fēng)混合進(jìn)行空氣調(diào)節(jié),全建筑通風(fēng)系統(tǒng)僅一個通風(fēng)道,導(dǎo)致病毒通過空氣循環(huán)在公共空間內(nèi)傳播,多人交叉感染,引發(fā)大家關(guān)注。疫情當(dāng)下,新風(fēng)系統(tǒng)的運行狀態(tài)不容忽視,從公共建筑,到家居環(huán)境,四方光電用傳感守護(hù),讓您的一呼一吸更加舒適、健康、智能!室內(nèi)空氣品質(zhì)大多數(shù)人超過90%的時間在室內(nèi)度過,室內(nèi)空氣品質(zhì)與人類健康的相關(guān)性日益明顯。場所內(nèi)人員的活動造成CO2濃度持續(xù)升高,高濃度二氧化碳對人體造成的危害不容小覷。節(jié)能降碳綠色發(fā)展在“碳達(dá)峰”和“碳中和”背...

  • 2022

    7-19

    如果你去買車或者驗車,常聽到國六標(biāo)準(zhǔn)的說法,汽車銷售們還會告訴你盡量要買符合國六B的車型。你可能會好奇:什么是國六A、國六B?國六B又是通過什么樣的標(biāo)準(zhǔn)和測試設(shè)備檢測出來的呢?在國產(chǎn)化替代的今天,有沒有國產(chǎn)的測試設(shè)備能夠支持國六B排放標(biāo)準(zhǔn)的測試呢?本文將帶您全面了解,什么是國六?什么樣的裝備能夠全面支持國六B測試?在國六B標(biāo)準(zhǔn)趕超歐6標(biāo)準(zhǔn)的當(dāng)下,咱國產(chǎn)的測試裝備是否也可*替代進(jìn)口?國六A和國六B國六標(biāo)準(zhǔn),即“國家第六階段機動車污染物排放標(biāo)準(zhǔn)”,主要涉及以下四個標(biāo)準(zhǔn),更嚴(yán)格的國...

  • 2022

    7-19

    根據(jù)“2會”期間公布的2020年政府工作報告,今年要實現(xiàn)單位國內(nèi)生產(chǎn)總值能耗和主要污染物排放量繼續(xù)下降;深化重點地區(qū)大氣污染治理攻堅;要打好藍(lán)天、碧水、凈土保衛(wèi)戰(zhàn),實現(xiàn)污染防治攻堅戰(zhàn)階段性目標(biāo)。2020年是打贏藍(lán)天保衛(wèi)戰(zhàn)、“十三五”規(guī)劃的全面收官之年,我國大氣污染治理進(jìn)入攻堅“深水期”,剩下的都是難啃的“硬骨頭”。作為一直以來的重點和難點,揚塵污染治理已然成為大氣污染防治目標(biāo)完成與否的關(guān)鍵點之一。揚塵治理,需對癥下藥;而把脈問診,監(jiān)測為先。高性能的揚塵傳感器對實現(xiàn)揚塵全面監(jiān)測...

  • 2022

    7-19

    汽車尾氣排放分析儀是在汽車發(fā)動機正常運轉(zhuǎn)時,對汽車排放的尾氣進(jìn)行檢測、分析,從而判斷汽車發(fā)動機是否工作正常、排出的有害氣體是否超出標(biāo)準(zhǔn)的一種儀器。作為機動車尾氣檢驗以及維修機構(gòu)的核心設(shè)備,這種儀器的質(zhì)量和性能直接影響到對汽車尾氣排放超標(biāo)進(jìn)行檢查的效率和效果。因此,獲得具有法定效力的計量認(rèn)證證書是產(chǎn)品應(yīng)用于市場的重要前提條件。隨著新的汽車尾氣排放檢測法規(guī)《汽油車污染物排放限值及測量方法(雙怠速及簡易工況法)》GB18285-2018和《柴油車污染物排放限值及測量方法(自由加速法...

  • 2022

    6-24

    前言:隨著新能源鋰電池、半導(dǎo)體、生物制藥、液晶面板等領(lǐng)域的快速發(fā)展,對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了更高的要求,有效控制潔凈室空氣中的塵埃粒子濃度至關(guān)重要。按照國家相關(guān)規(guī)定,潔凈室在設(shè)計、建造以及交付運行以后,都需要對其性能和合理性進(jìn)行綜合評價分析。那么,企業(yè)為了滿足生產(chǎn)條件搭建符合標(biāo)準(zhǔn)要求的潔凈室環(huán)境,該如何實現(xiàn)對塵埃粒子的監(jiān)測呢?以往客戶僅在項目驗收時采用手持式塵埃粒子計數(shù)器針對作業(yè)廠區(qū)內(nèi)相關(guān)區(qū)域進(jìn)行潔凈度檢測,而工程驗收合格投入使用后,則只會定期安排人工進(jìn)行抽查巡檢,這樣的做法...

  • 2022

    4-26

    暗藏在湖底的危機圖1、非洲盧旺達(dá)基伍湖盧旺達(dá)的基伍湖風(fēng)景如畫,被譽為“非洲大湖”之一?;楹眰?cè)有一座活火山,數(shù)千年的火山活動導(dǎo)致甲烷和二氧化碳大量積累溶解在基伍湖深處??茖W(xué)家認(rèn)為基伍湖看似平靜,卻危險重重,大約有3000億立方米的溶解二氧化碳、600億立方米的甲烷以及含有有毒的硫化氫潛藏湖底。這些溶解的氣體隨時可能以湖沼噴發(fā)的形式爆炸性地釋放,一旦爆發(fā),不僅會釋放致命的二氧化碳,還可能引起甲烷爆炸,引發(fā)災(zāi)害。圖2、基伍湖分層深水區(qū)示意圖湖底甲烷變身可持續(xù)能源對周邊人口及國家...

  • 2022

    4-20

    一、背景隨著我國機動車保有量的增加,大氣污染正在向工業(yè)燃煤污染與機動車排氣污染復(fù)合型發(fā)展,機動車排氣污染對顆粒物和氮氧化物的貢獻(xiàn)率較大。特別是柴油貨車和非道路機械的排放,對我國環(huán)境空氣質(zhì)量的影響日益凸顯,成為我國污染治理的重中之重。圖1:2018年污染物排放對比圖數(shù)據(jù)來源:《移動源環(huán)境管理年報(2019)》為了控制非道路移動機械污染,國家出臺了《柴油貨車污染治理攻堅戰(zhàn)行動計劃》,對柴油貨車、非道路移動機械的污染防治工作進(jìn)行了統(tǒng)一的部署和規(guī)劃。對于柴油貨車,明確要求:(1)加大...

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