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半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)解決方案

1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對(duì)腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會(huì)形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長設(shè)備停機(jī)時(shí)間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗(yàn)時(shí)間控制清潔終點(diǎn),但最佳清潔時(shí)間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2021

    2-23

    為規(guī)范行業(yè)發(fā)展,確保消費(fèi)者利益,由中國空氣凈化行業(yè)聯(lián)盟發(fā)起、中國質(zhì)量檢驗(yàn)協(xié)會(huì)批準(zhǔn)的《便攜式甲醛檢測(cè)儀》(T/CAQI140—2020)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)于2021年2月6日實(shí)施?;诙嗄觌娀瘜W(xué)甲醛氣體傳感技術(shù)的研發(fā)及較早產(chǎn)業(yè)化的客戶端配套經(jīng)驗(yàn),四方光電股份有限公司受邀參與了此次《便攜式甲醛檢測(cè)儀》標(biāo)準(zhǔn)的編制。標(biāo)準(zhǔn)適用于室內(nèi)空氣質(zhì)量測(cè)試用便攜式甲醛檢測(cè)儀,不適用于在腐蝕性和爆炸性氣體特殊環(huán)境場(chǎng)所。其中,針對(duì)消費(fèi)者比較關(guān)注的便攜式甲醛檢測(cè)儀的檢測(cè)性能按檢測(cè)精度進(jìn)行了A\B\C三個(gè)等級(jí)的劃分...

  • 2020

    11-4

    隨著智能家居的不斷深入發(fā)展,吸塵器和掃地機(jī)器人逐漸普及。目前吸塵器和掃地機(jī)器人的發(fā)展已經(jīng)從功能性向智能型轉(zhuǎn)型,由基本的清掃功能,到清掃效率、清掃質(zhì)量的提升,清掃規(guī)劃類的產(chǎn)品已經(jīng)成為行業(yè)的標(biāo)配,用戶體驗(yàn)明顯提升。圍繞著傳感器、算法方面的提升,清掃規(guī)劃類產(chǎn)品再度引爆了掃地機(jī)器人市場(chǎng),使得吸塵器和掃地機(jī)器人市場(chǎng)進(jìn)入智能新時(shí)代。吸塵器/掃地機(jī)器人如何實(shí)現(xiàn)智能化?實(shí)現(xiàn)吸塵器/掃地機(jī)器人的智能化,關(guān)鍵在于傳感器,其內(nèi)置的灰塵傳感器可以智能識(shí)別地面塵埃或垃圾的污染程度,幫助設(shè)備自動(dòng)調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)...

  • 2020

    11-3

    隨著第三產(chǎn)業(yè)的興起,飲食服務(wù)業(yè)迅速發(fā)展,給人們的生活帶來了便利,然而油煙的直接排放也構(gòu)成了對(duì)大氣環(huán)境的污染。油煙氣體組分復(fù)雜,其中所包含的顆粒物和揮發(fā)性氣態(tài)有機(jī)物是霧霾形成的重要原因之一。為了切實(shí)推動(dòng)大氣環(huán)境治理工作,油煙治理勢(shì)在必行。油煙在線排放監(jiān)測(cè)是油煙治理邁出的重要一步餐飲油煙排放具有數(shù)量多、分布廣的特點(diǎn),傳統(tǒng)的油煙排放監(jiān)管多為政府相關(guān)部門定期上門抽查,但這種方式存在成本高、效率低的問題,無法*且高效的解決油煙污染難題,因此餐飲油煙“久治不愈”。近年來,在各項(xiàng)政策的推動(dòng)...

  • 2020

    10-22

    四方光電在線粒子計(jì)數(shù)器在潔凈室的創(chuàng)新應(yīng)用在醫(yī)藥、電子、食品、航天、生物工程、精密加工等領(lǐng)域,相關(guān)生產(chǎn)作業(yè)過程中環(huán)境空氣需要滿足較高潔凈度的要求,并符合相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),例如制藥行業(yè)需要符合GMP標(biāo)準(zhǔn)。客戶一般采用粒子計(jì)數(shù)器來針對(duì)作業(yè)環(huán)境進(jìn)行檢測(cè),在國內(nèi)相關(guān)檢測(cè)設(shè)備需要符合國家計(jì)量總局頒布的JJF1190-2008《塵埃粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范》規(guī)程的技術(shù)要求。以往客戶僅在項(xiàng)目驗(yàn)收時(shí)采用手持式粒子計(jì)數(shù)器針對(duì)作業(yè)廠區(qū)內(nèi)相關(guān)區(qū)域進(jìn)行潔凈度檢測(cè),而工程驗(yàn)收合格投入使用后,則只會(huì)定期安排人工進(jìn)行...

  • 2020

    9-27

    肺功能檢查的重要性慢性呼吸系統(tǒng)疾病是以慢性阻塞性肺疾病(以下簡(jiǎn)稱慢阻肺)、哮喘等為代表的一系列疾病,是嚴(yán)重影響我國居民健康的四類重大慢性病之一,我國40歲及以上人群慢阻肺患病率達(dá)到13.6%,總患病人數(shù)超過1億,哮喘患者超過3000萬,嚴(yán)重影響群眾身體健康和生活質(zhì)量,因此呼吸類疾病患者的檢查和科學(xué)管理尤為重要。肺功能檢查作為慢性氣道等呼吸疾病診斷的金標(biāo)準(zhǔn)之一,是慢性呼吸系統(tǒng)疾病防治和檢查的關(guān)鍵。2019年中國政府的《健康中國行動(dòng)(2019-2030年)》中明確提出,到2022...

  • 2020

    9-4

    四方光電股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱四方光電)將于9月8日科創(chuàng)板首.發(fā)上會(huì)。據(jù)悉,四方光電是一家專業(yè)從事氣體傳感器、氣體分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高.新.技.術(shù).企業(yè),根據(jù)工信部電子信息司、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院編寫的《智能傳感器型譜體系與發(fā)展戰(zhàn)略白.皮.書》,公司已成為國內(nèi)“氣體和顆粒物傳感器型譜體系”的主要廠商和代表性企業(yè)。在環(huán)境監(jiān)測(cè)及工業(yè)過程氣體分析儀器方面,四方光電基于突出的自主創(chuàng)新及新產(chǎn)品開發(fā)能力,憑借微流紅外、熱電堆紅外、紫外差分吸收光譜氣體傳感技術(shù)及煤氣成分及熱值分...

  • 2020

    6-11

    根據(jù)“兩會(huì)”期間公布的2020年政府工作報(bào)告,今年要實(shí)現(xiàn)單位國內(nèi)生產(chǎn)總值能耗和主要污染物排放量繼續(xù)下降;深化重點(diǎn)地區(qū)大氣污染治理攻堅(jiān);要打好藍(lán)天、碧水、凈土保衛(wèi)戰(zhàn),實(shí)現(xiàn)污染防治攻堅(jiān)戰(zhàn)階段性目標(biāo)。2020年是打贏藍(lán)天保衛(wèi)戰(zhàn)、“十三五”規(guī)劃的全面收官之年,我國大氣污染治理進(jìn)入攻堅(jiān)“深水期”,剩下的都是難啃的“硬骨頭”。作為一直以來的重點(diǎn)和難點(diǎn),揚(yáng)塵污染治理已然成為大氣污染防治目標(biāo)完成與否的關(guān)鍵點(diǎn)之一。揚(yáng)塵治理,需對(duì)癥下藥;而把脈問診,監(jiān)測(cè)為先。高性能的揚(yáng)塵傳感器對(duì)實(shí)現(xiàn)揚(yáng)塵全面監(jiān)測(cè)...

  • 2020

    6-10

    新法規(guī)規(guī)定,汽車尾氣排放分析儀應(yīng)至少能自動(dòng)測(cè)量HC、CO、CO2、NO、O2五種氣體濃度。在檢測(cè)方法上也發(fā)生了較大的變化:一是規(guī)定原來的電化學(xué)法測(cè)量NOx的原理不再適用,必須用光學(xué)法原理測(cè)量;二是柴油車增加了NOx的檢測(cè)。如何準(zhǔn)確測(cè)量NOx?新標(biāo)準(zhǔn)的出臺(tái)直接影響著NOx的測(cè)量,光學(xué)檢測(cè)原理有非分光紅外(NDIR)、微流NDIR、非分光紫外(NDUV)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS),原理不同測(cè)量的精度和結(jié)果也不同。除了檢測(cè)原理不同外,還有兩種測(cè)量方式的區(qū)別:一種是直接測(cè)量...

  • 2020

    6-10

    汽車尾氣排放分析儀是在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),對(duì)汽車排放的尾氣進(jìn)行檢測(cè)、分析,從而判斷汽車發(fā)動(dòng)機(jī)是否工作正常、排出的有害氣體是否超出標(biāo)準(zhǔn)的一種儀器。作為機(jī)動(dòng)車尾氣檢驗(yàn)以及維修機(jī)構(gòu)的核心設(shè)備,這種儀器的質(zhì)量和性能直接影響到對(duì)汽車尾氣排放超標(biāo)進(jìn)行檢查的效率和效果。因此,獲得具有法定效力的計(jì)量認(rèn)證證書是產(chǎn)品應(yīng)用于市場(chǎng)的重要前提條件。隨著新的汽車尾氣排放檢測(cè)法規(guī)《汽油車污染物排放限值及測(cè)量方法(雙怠速及簡(jiǎn)易工況法)》GB18285-2018和《柴油車污染物排放限值及測(cè)量方法(自由加速法...

  • 2020

    3-25

    新的在用車環(huán)保法規(guī)GB18285-2018和GB3847-2018于2019年5月1日正式實(shí)施。新法規(guī)中尾氣檢測(cè)方法發(fā)生了較大的變化:一是規(guī)定原來的電化學(xué)法測(cè)量NOx的原理不再適用,必須用光學(xué)法原理測(cè)量;二是柴油車增加了NOx的檢測(cè)。受此影響,各地的機(jī)動(dòng)車尾氣檢測(cè)站迎來了尾氣分析儀更新?lián)Q代的高潮。國內(nèi)的氣體分析儀表制造商——四方光電(武漢)儀器有限公司,基于自身的技術(shù)優(yōu)勢(shì)迅速開發(fā)出了滿足新國標(biāo)的尾氣分析儀,適用于汽油車和柴油車。針對(duì)HC、CO、CO2,沿用經(jīng)典的NDIR原理。...

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